Установка для контроля герметичности в полупроводниковой промышленности

Установка для контроля герметичности МИКРО-4
МИКРО-4

Установка контроля герметичности МИКРО-4 предназначена для контроля герметичности и разбраковки элементов с замкнутой оболочкой в полупроводниковой, электротехнической и других отраслях промышленности. Устройство работает совместно с течеискателем завода «Измеритель» ТИ1-50.

Одной из особенностей установки является возможность управлять ее производительностью и чувствительностью. В «МИКРО-4» имеется 3 режима работы:

- повышенная производительность контроля - 300 испытаний в час с чувствительностью порядка 5*10 -10 м3 Па/с;
- средняя производительность контроля - 200 испытаний в час с чувствительностью порядка 1*10 -10 м3 Па/с;
- прецизионный контроль микросхем с производительностью 120 испытаний в час с чувствительностью порядка 1*10 -11 м3 Па/с.

Принцип работы

Контролю герметичности изделий с замкнутой оболочкой, предшествует этап подготовки изделий к контролю. Подготовка заключается в помещении изделий в камеру опрессовки и выдержке их под избыточным давлением гелия. Гелий накапливается, проникая через дефекты в корпусе изделия. Подготовленные к контролю изделия извлекаются из камеры опрессовки и перемещаются в установку контроля. Гелий, вытекающий из дефектов корпуса, регистрируется течеискателем и по уровню сигнала оценивается  значение утечки (т.е. значение не герметичности изделия).  

Внимание! Опрессовка изделий перед проведением контроля герметичности должна производиться в изолированном помещении с хорошей вентиляцией. Присутствие избыточного гелия в атмосфере помещения в месте расположения установки может исказить достоверность результатов контроля.

Процесс проверки герметичности изделий производится в следующем порядке:

  • в камеру находящуюся на рабочей позиции (перед оператором) производится загрузка испытуемых изделий;
  • с рабочей позиции камера перемещается на промежуточную позицию, а на рабочую позицию устанавливается следующая камера для загрузки/выгрузки изделий;
  • с промежуточной позиции камера перемещается на позицию вакуумных испытаний.
  • с позиции испытаний происходит перемещение в промежуточную позицию
  • далее камера перемещается в рабочую позицию и включается индикатор статуса изделия – «БРАК» или «ГОДЕН». Разбраковка изделий прошедших контроль осуществляется вручную.

Технические данные

1. Максимальная производительность, шт/час: 300 при загрузке 1 изделия в стакан
2. Внутренние размеры стакана *: высота-55 мм; диаметр-80мм; количество стаканов-4
3. Чувствительность к потоку гелия – 5·10-10 м3·Па/с.
4. Наличие трех предустановленных программируемых порогов отбраковки изделий с возможностью быстрого выбора
5. Загрузка, выгрузка и разбраковка изделий – ручная
6. Количество обслуживающего персонала – 1 чел. (рабочее положение – сидя)
7. Питание установки – сеть 220В, 50 Гц. Потребляемая мощность не более 2 кВт
8. Габаритные размеры: ширина 690 мм; глубина 890 мм; высота 1010 мм.
9. Масса установки, кг, не более - 150

* Размер может быть изменен по согласованию с заказчиком

 

Гелиевые течеискатели

Галогенные течеискатели

Турбомолекулярные насосы

Комплектующие для вакуумных систем

Вакуумные системы и установки

 

 

Оформить заказ на Установка для контроля герметичности в полупроводниковой промышленности

Вы можете сделать заказ на интересующее Вас оборудование прямо с нашего сайта. Для этого нужно заполнить приведенную ниже форму и нажать кнопку "Отправить". Поля, отмеченные*, обязательны для заполнения.
Просуммируйте 6 и 4.
 
Яндекс.Метрика